Agilent泵常见故障及维修方法如下：

1. 分子泵驱动器故障代码显示错误：若为电源故障，需检查电源线接触、电源板及电容等部件；若为变频器显示异常，需排查接线松动、电源电压稳定性或更换损坏零件；若控制器无反应，可能是芯片连接松动或光耦合器故障，需重新固定或更换相关组件。
2. 真空泵不能正常启动：检查密封件、接口是否漏气；处理液体气体饱和问题（如除泡预处理）；若因液体粘度/密度过大，需选择适配泵型；排查泵内部零件（如叶轮）是否损坏或堵塞。
3. 变频器显示故障：可尝试重启控制器，若无效则检查显示屏连接线是否松动，或升级软件解决。

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