二手分析光谱仪的检测精度受仪器技术、维护状态及使用环境等多因素影响。从技术层面看，部分二手光谱仪（如天瑞手持光谱仪）采用小功率端窗一体化微型光管、大面积铍窗SDD硅漂移探测器及微型数字多道处理器等核心技术，可大幅降低测试时间、提高检测精度，性能接近台式光谱仪。具体精度方面，X荧光光谱仪对主量元素（含量>1%）的相对误差通常在1%-5%，先进机型可低至0.5%-1%；微量元素（0.1%-1%）误差约5%-10%，部分高端机型可控制在3%-5%。此外，便携式光谱仪的波长精度多为±1nm，重复性优于±0.3nm（温度变化±10℃），而超高精度光谱仪波长精度可达±0.01nm。

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