Agilent 8164A光波测量系统的精度表现优异，其配套模块如81682A可调谐激光源的波长精度（绝对值）可达±0.01nm，波长重复性（典型值）为±0.5pm，相对波长精度典型值±2pm，波长稳定性±1pm；81640A模块的波长精度（绝对值）为±0.015nm，波长分辨率可达1pm。这些高精度指标使其非常适合测试关键密集波分复用（DWDM）器件等对精度要求高的场景。

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