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Agilent DS302作为一款双级油封旋片泵,在精度表现上较为出色。其极限压力可达到< 2×10⁻³ mbar,双级设计还能实现低至10⁻³ mbar的工作压力,同时具备低操作温度、低压下返油现象少等特点,在10⁻² mbar的低压范围内也有良好的抽气速率和气镇效果。
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