Agilent 4294A精密阻抗分析仪的测量精度表现优异，其基本阻抗准确度为±0.08%，频率覆盖范围为40Hz至110MHz，阻抗测量范围可达3mΩ至500MΩ。此外，在Q=100且频率≤10MHz时，典型Q精度为±3%，具备出色的高Q/低D精度，适合低损耗元件的分析。其测试信号电平范围为5mV至1Vrms（或200μA至20mArms），直流偏置范围为0V至±40V（或0mA至±100mA），并支持先进的校准与误差补偿功能，可有效减少测量误差。

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