Agilent B1500A半导体参数分析仪的故障排查可参考以下思路：

1. 自诊断报错处理：若开机后出现自诊断报错（如北京某院校送修案例），需先记录具体报错代码，排查仪器硬件连接是否松动（如测试探头、模块接口），检查电源稳定性及电压是否符合要求（220V±10%）。
2. 功能模块检查：作为集成源测量单元（SMU）等功能的精密仪器，若某测试功能异常，可逐一排查对应模块（如SMU卡、测试夹具）是否损坏或接触不良，建议通过官方诊断软件进行模块功能测试。
3. 环境与维护：确保仪器运行环境温湿度达标（通常温度20-25℃，湿度40-60%），定期清理内部灰尘（避免因积灰导致散热不良或电路短路），检查气体管路（若涉及）是否漏气。

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