Agilent B1500A半导体测试仪具备多项核心功能特点：1. 高精度测量能力，电流分辨率可达0.1 fA，电压分辨率0.5 V，支持0.1 fA-1 A电流范围与0.5μ-200 V电压范围的精确IV测量；2. 多模式测量支持，包括单/多通道扫描、时间采样、列表扫描、准静态CV（配合SMU）及脉冲测量等，可选集成电容模块支持高达5 MHz的CV测量；3. 模块化设计，配备10个模块插槽，支持IV和CV测试模块扩展；4. 自动化与易用性，内置半自动晶圆探针驱动器及快速测试模式，搭配基于Windows系统的EasyEXPERT软件（含旋钮扫描功能的曲线追踪模式），实现直观的器件表征与测试序列自动化；5. 广泛适用性，可满足半导体器件（如非易失存储单元、高速器件）的电学性能测试需求，支持IC-CAP等专业表征场景。

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