Agilent 4155C半导体参数分析仪在精度表现上较为出色。根据相关资料显示，其基本阻抗精度为±0.8%；电流测量精度方面，部分参数可达±(4%+20fA+1fA×Vout/100)，且具备1fA的测量分辨率，能够满足半导体器件和材料的高精度直流参数测试需求。

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